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擴散硅壓力傳感器
原理介紹
擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術經(jīng)過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應變電阻，構成惠斯登電橋。利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。
擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，傳感器的電阻值發(fā)生變化，用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器
產(chǎn)品特點
1、適合制作小量程的變送器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、壽命長，性能穩(wěn)定
由于工作單性形變低至微應變數(shù)量級，彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×107壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5、抗腐蝕能力強
由于硅的優(yōu)良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。
6、體積小，重量輕
由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。
WPAK63擴散硅壓力傳感器
性能參數(shù)
測量介質(zhì)：液體和氣體
量程范圍：-100kPa～0～10kPa…100MPa
壓力類型：表壓、絕壓、密封壓
輸入阻抗：恒壓：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ
響應時間：≤1ms（上升到 90%FS）
傳感器特點
●Φ19mm 標準 OEM 壓力芯體，與國內(nèi)外市場同類型產(chǎn)品互換性強；
● 全不銹鋼316L 封裝，抗腐蝕；
● 寬溫度補償-10 ～+70℃；
● 恒流、恒壓激勵可選；
● 可做歸一輸出；
● 補償板灌膠防潮保護；
擴散硅壓力傳感器
產(chǎn)品應用
擴散硅壓力傳感器主要應用于過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業(yè)，可以說，凡是自動化要求比較高的行業(yè)，都可能會用到擴散硅壓力傳感器。
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